低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，有机气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以产生一系列水，二氧化碳等碳水化合物以达到降解污染物的目的。