工业废气处理设备采用预净化利用干式材料进行净化，后利用活性碳的多微孔特性进行吸附。活性炭吸附饱和后，再利用热空气将活性炭内的有机废气脱附出来，通过控制脱附过程流量可将有机废气浓度浓缩10-20倍，脱附气流经催化床内设的电加热装置加热至需要的温度，在催化剂作用下有机废气开始分解，催化分解过程净化效率可达97%以上。分解后生成CO2和H2O并释放出大量热量，该热量通过催化分解床内的热交换器一部分再用来加热脱附出的高浓度废气，另外一部分加热室外来的空气做活性碳脱附气体使用，再生处理系统靠废气中的有机废气做能源，在无须外加能源基础上使再生过程达到自平衡循环，地减少能耗，并且无二次污染的产生，整套吸附和催化分解过程由PLC实现自动控制。