1. 净化效率：这是衡量设备性能的重要指标，通常通过测试进入和离开净化装置的废气中污染物的浓度来确定。净化效率直接关系到废气处理的效果。

2. 处理风量：确保设备的设计处理风量与实际产生的废气量相匹配，以避免处理能力不足或资源浪费。

3. 稳定性：长时间运行设备，观察其是否能够稳定持续工作，不频繁出现故障，这关系到处理效果的持续性。

4. 能耗：评估设备的能耗水平，低能耗设备有助于降低企业成本，并且更符合环保节能的要求。

5. 维护成本：考虑设备的易损件更换频率、维修难易程度和费用等，这些都是影响设备长期运行成本的因素。

6. 噪音和振动：设备运行时的噪音和振动情况，不仅影响工作环境，还可能暗示设备存在问题。

7. 操作便捷性：设备的操作是否简单、易于管理，这会影响工作人员操作的效率和设备的使用效果。

8. 气密性：通过漏风率的测量来评估净化装置的气密性，这关系到设备是否能够有效地处理废气。

9. 压力损失：测量净化装置进出口管道上气体的平均全压之差，以评估设备的压力损失。

10. 运行噪声：以声压法测量设备运行时产生的噪声，确保其在可接受的范围内。

11. 排放试验：确保工厂废气排放满足对应地方、行业或国家大气污染物排放标准。

在进行性能评估时，可以参考国家标准《工业有机废气净化装置性能测定方法》（GB/T 40200—2021），该标准规定了工业有机废气净化装置性能测定的项目、方法、计算方法与报告编写要求。此外，还可以邀请专业的环保机构或第三方检测机构对设备进行测试和评估，以获取更客观、准确的数据